本着发展集成电路必然要发展设备这一规律，业内人士近日建议，国家应该在政策、资金、关税等方面对国产半导体设备行业有所倾斜；鼓励国内装备制造企业、专用装备用户企业和资金进入半导体与集成电路专用装备制造业。

　　业内人士认为，我国半导体集成电路设备制造企业应该分步走：2010年前，国内主流生产线部分关键设备实现商品化；通过对外合作，将少量具有优势的产品实现产业化；积极发展FPD（平面显示器）、MEMS（微电子机械系统）、电池生产设备及其他电子基础产品生产线所用半导体设备。除要充分发挥研究单位在工业研发方面的经验和设备制造企业在设备设计方面的优势之外，国内设备制造企业在税收方面应享有与国外设备制造企业同等的待遇，同时国家应对部分有希望国产化的设备在政策上鼓励选用。