《若干意见》是党中央、国务院审视国际形势，根据我国未来国民经济、国防建设发展的需求，对装备制造业给予高度重视的体现。科技部认真落实《若干意见》，在"十五"科技项目中加大对制造业装备的研究开发支持,积极组织产学研联合攻关，并在国务院领导下编制《国家中长期科学和技术发展规划纲要》中，进一步突出装备制造业的自主创新。一些对我国未来国民经济、国防建设发展具有基础性、战略性的重大装备的研究开发被列入《国家中长期科学和技术发展规划纲要》的优先发展主题和国家重大专项。

    "十五"期间，通过863计划、科技攻关计划支持了一批国家重点行业急需的制造业装备的开发，提高了部分行业制造装备的自主创新能力。

    集成电路装备获得突破

    科技部、北京市和中电集团等有关企业共同投入研发资金，研制出适合8英寸硅片100nm工艺微电子芯片制造关键设备、高密度等离子体刻蚀机和大倾角注入机试生产样机。该样机在去年已进入生产线进行生产考核，实现了我国高端集成电路核心设备零的突破。样机的进一步产业化将使未来2～3年我国IC制造业从180/130nm向90nm升级时，有可能使用上国产装备。

    100nm分辨率148nmArF准分子激光步进扫描投影光刻机，是科技部、上海市与上电集团共同投资进行研发的高难度重大项目。该项目在大规模产学研联合攻关中，一些难度极高的部件采取国际合作方式，目前正处于分系统验收、内外配套件集成并总装的阶段，有望在今年底完成。

    高档数控系统取得进展

    经过"十五"前各类科研项目的支持，我国中档以下数控系统的国产化率已超过50%，"十五"期间科技项目支持的重点是高档数控系统的研发。

    第一，我国研制并生产了十多台为东方汽轮机厂开发的加工60万千瓦汽轮机、40英寸大型叶片用五轴联动大型叶片加工中心，加工精度与加工效率可与进口瑞士同类机床相当。

    第二，研制成功大型舰船螺旋桨用重型七轴五联动车铣复合加工机床。可实现螺旋桨的一次装夹多表面的加工。该项目研发的技术，还可为发电装备的大型叶片、转轮等五轴加工提供共性加工技术。

    第三，面向飞机大型板类件加工的横梁移动式龙门五轴加工中心广泛适用于大型模具的生产，尤其适用于航空航天工业设备中的有色金属、轻合金材料及难加工材料如钛合金、铬镍合金的机械加工，是复杂空间曲面零件（如蜗轮、叶片、螺旋桨以及飞行器）加工必须的重要装备，目前国内此类设备完全依赖进口。"十五"期间，我国自主研制的横梁移动式龙门五轴加工中心问世，并获得了第十届中国国际装备制造业博览会金奖。

    第四，光学非球曲面超精密磨削技术及设备研究项目研制成超精密铣磨纳米加工设备。超精密铣磨加工技术由于涉及尖端武器的制造，发达国家一直对这项技术及相应产品采取禁运限制，研制的设备为我国军工及航空航天工业所需的光学玻璃非球曲面加工、微晶玻璃、铁氧体等材料零件提供了加工设备。

    部分能源装备实现自主研发

    "十五"期间，科技部安排了兆瓦级风电机组研制，自行研制的1兆瓦级变桨距双馈式变速恒频和1.2兆瓦无齿轮箱直驱永磁两种风力发电机组于2005年实现并网发电。目前，1.2兆瓦风电机组已在30万千瓦风电场项目中中标。这两种大型变速恒频风电机组，为我国在2010年实现风力发电装机达500万千瓦提供主力机型。

    另外，新型水煤浆气化技术经过国家科技计划的连续支持取得突破。"十五"期间，对我国自主开发的多喷嘴对置式水煤浆气化技术进行了改进，并在兖矿集团建成了1150吨/天新型水煤浆气化炉工业示范装置，实现一次投料成功。该项目打通了整个工艺流程，为煤的洁净高效利用提供关键技术、核心技术。